自來水經過精密濾芯和活性炭濾芯進行預處理，過濾泥沙等顆粒物和吸附異味，讓自來水變得更加干凈，然后再通過反滲透裝置進行水質純化脫鹽，純化水進入儲水箱儲存起來，同時反滲透裝置產水的廢水排掉。反滲透純水通過純化柱進行深度脫鹽處理就得到一級水或者超純水。

　　目前常用凈化水質的工藝方法有蒸餾法、反滲透法、離子交換法、過濾法、吸附法、紫外氧化法等。超純水機一般可以將水的純化過程大致分為4大步，預處理(低級凈化)、反滲透(生產出純水)，離子交換(可生產出18.2MΩ.cm超純水)和終端處理(生產出符合特殊要求的超純水)。

　　實驗室超純水機需要進行定期維護和清洗，才能保證其長期穩定的運行，純水機中的膜元件如果使用和維護不當，很容易被損壞，所以在清洗時必須按照正確的方法操作，從而延長設備的使用壽命。

　　1、精密濾芯。精密濾芯又可以稱作為過濾濾芯，主要是用來去除水中的泥沙，大顆粒物質，懸浮物等，過濾的精度有5um和1um。新的濾芯是白色的，隨著使用時間而變黑了。濾芯是一次性的，不能重復使用，要定期更換濾芯。可以根據原水的情況來跟換濾芯，水質的情況好，可以使用的時間長點，水質不好，使用的時間短點。

　　2、活性炭過濾芯。主要是起到吸附的作用，用來去除水中的異味和余氯，重金屬脫色。余氯對于后面的反滲透膜氧化性比較強，必須要去出水中的余氯，那就必須使用活性炭去除掉。大約為一年左右更換一次的。

　　3、反滲透膜。反滲透膜是實驗室超純水機的核心部件，是一張孔徑很小的半透明膜。反滲透膜能夠去除肉眼看不到的細菌，病毒以及膠體等物質。具有自動沖洗功能，是用來清除反滲透膜上面的污物。

　　4、純化柱。純化柱的主要作用是用來對反滲透之后的純水進行進一步的深度脫鹽，其原理是離子交換。純化柱的使用壽命可以根據電導率很直觀的判定。低于特定的值，就說明該更換純化柱了。

　　5、用水。以自來水為水源的實驗室超純水機會有兩個出口，分別出三級水和一級水。一級水的成本比三級水的成本高，能夠使用三級水盡量不去使用一級水。一級水是通過了純化柱，而三級水卻沒有。